Plasma Etsilyo Prinsipyo

Say indulsyon ya Internma Etch (ICPE) et resulta na pankasakey na saray proseso na kemikal tan pisikal. Say manunan prinsipyo na satan et, diad silong na bakante tan abeban presyon, say kabetbet na radyo a papawalaen na suplay na RF na RFP RF so ompaway ed sakey a korap na panag-ikot. Say nanlalaok a gas a walaan na gas ed sakey a proporsyon so walaan na liwawan ompapaway, a manggawa na atagey a plasma. Lapud impluensya na RF ed leksab ya elektrono, bombaen na sayan plasma so baleg a tapew, ya abuyak so kemikal a bedber na materyal a manag-asikaso ed lugar ya apakiwas na sukong. Sarayan maples a substansia so onkikiwas ed saray akakawes na gas pian naporma iray ag-onsusumlang iran tambal, a insan nibiig ed subol bilang gas tan ibobomba manlapud baka ya ag-onkikiwas.